車床的化學氣相沉積法,銑床是采用一定的方法把含有C源的氣體激活,車床在極低的氣體壓強下,銑床使碳原子在一定區(qū)域沉積下來,車床碳原子在凝聚、銑床的沉積過程中形成金剛石相。目前車床用于沉積金剛石的CVD法主要包括:微波、熱燈絲、銑床的直流電弧噴射法等。
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