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61125車床廠家為您解析5米CW61125重型車床微制造技術時間:2019-06-22 09:07 來源:http://www.ln-art.cn 作者:車床
5米CW61125重型車床微制造技術。目前5米CW61125重型車床廠家常用于微機電系統(tǒng)方面的微制造技術（Micromanufacturing）可分為對硅基材料以及非硅基材料的微加工，基本上又可分為四類：（1）5米CW61125重型車床刻蝕技術。5米CW61125重型車床技術利用干刻蝕法、濕刻蝕法或光刻蝕法對5米CW61125重型車床廠家加工材料進行等向或非等向刻蝕去除加工，通�？蓪�5米CW61125重型車床廠家加工材料進行體形微加工（bulk micromachining）或5米CW61125重型車床表面微加工（surface micromachining）。5米CW61125重型車床刻蝕技術的優(yōu)點是加工精度高，且5米CW61125重型車床有大批量生產能力，可與IC制造相容，技術已較成熟；缺點是5米CW61125重型車床廠家加工材料固定、5米CW61125重型車床加工速度慢、刻蝕劑危險性高、所用設備資金投入大，且對5米CW61125重型車床廠家加工環(huán)境要求高等。（2）5米CW61125重型車床薄膜技術。該技術主要用薄膜成長技術和5米CW61125重型車床刻蝕技術加工所需的微結構，一般5米CW61125重型車床廠家可用于2D表面微加工，主要應用在VLSI方面的微元件制造。5米CW61125重型車床薄膜技術除了技術已較成熟、極佳的IC相容性，不需要特別的組裝技術就可以大量生產5米CW61125車床微元件外，其缺點與刻蝕技術相同。
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